产品与服务
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产品特点：
• 高精度：(基于苏科思闭环控制方案),静态测量重复性：±1/8 DOF,动态对焦精度：±1/2 DOF
• 高速度：(使用苏科思高速采样板卡）,输出频率高达10 kHz，微秒级的信号延迟
• 自研减振系统及反作用力消除装置
• 适配高倍率、大NA光学系统: 可适配到 NA 0.95 的物镜
• 优异的样品工艺适应性：采用宽光谱光源和对称双通道差分测量方案，对多层薄膜、复杂图形、密集光
栅、高反射率对比度等各类样品都有优异的适应性
• 焦面匹配：内置匹配焦面
• 易用性好：光强实时自适应调整
应用领域：
• 平板显示、PCB光学检测设备（AOI）
• 半导体检测、量测设备
选配：
• 光源波长，100L可选单波长、双波长
• 光斑形状和尺寸
采用同轴光学测量原理，实现超高 速高精度的样品表面高度测量。对称差分式焦面测量方案，保证优 秀的样品图案适应性；配置光源能量监控模块，用于杂散光快速自动校准与补偿。
| 指标项目 | Focus 100L | Focus 100W | Focus 200W |
应用场景 | 无图形或周期重复样品量检测 | 复杂图形硅片量检测 | |
光源类型 | LD | LED | LED |
波长* | 405, 639, 785 nm | 630, 460 nm | 860 nm |
谱宽 | ±2 nm | ±15 nm | ±15 nm |
输出频率 | 1, 2, 4, 8, 10 kHz可配置 | ||
物面光斑 | 长条形 | 圆形或方形可定制 | 圆形或方形可定制 |
适配物镜 | 支持5–50X多种规格 | ||
适配物镜光瞳直径 | 10-14 mm | 6-8 mm | 8-10 mm |
静态重复性 | 优于 ±1/10 DOF** | 优于 ±1/8 DOF | 优于 ±1/8 DOF |
线性范围 | ±20µm@50X/0.95 | ±5µm@50X/0.9 | ±6µm@20X/0.42 |
捕获范围 | ±140µm@50X/0.95 | ±7µm@50X/0.9 | ±9µm@20X/0.42 |
测量头尺寸 | 70 × 70 × 130 mm | 461 × 150 × 160 mm | 456 × 150 × 154 mm |
工作距离*** | 100-280 mm | 103 mm | 196 mm |
控制器尺寸 | 220 × 160 × 40 mm | 控制器于测量头内 | |
* 波长可定制配置
** DOF=depth of focus, 指物镜景深
*** 传感器出光口与物镜瞳面之间的距离
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