UCS-D 分布式超精密运动控制系统

采用苏科思高性能双主站控制器、高精密驱动器和功能模块，在EtherCAT总线基础上，实现10 kHz的总线采样频率、100 kHz的3环伺服采样频率、2mA级低电流噪声、50us级低延迟的优异性能。UCS-D系统基于先进控制理念，部署苏科思高性能控制算法、通过强大的应用软件，支持客户快速应用到高精密复杂控制场景。

UPSSAir 超精密气浮台

UPSSGlider 高速高整定机械台

UPSSNova 双龙门运动台

UPSSHiRot 高速旋转运动台

UPSSHiRes 超高精度垂向运动台

高精度自动对焦传感器

采用同轴光学测量原理，实现超高 速高精度的样品表面高度测量。对称差分式焦面测量方案，保证优秀的样品图案适应性；配置光源能量监控模块，用于杂散光快速自动校准与补偿。