发布日期:2024-09-13
9 月 11 - 13 日,CIOE2024 中国国际光电博览会在深圳国际会展中心(宝安新馆)成功举办,苏科思科技盛装出席,展位位于 3 号馆 3E33。
展会现场,苏科思科技展出超精密气浮 / 机械运动平台、高精度对焦传感器等核心产品,吸引众多行业专家、客户及参展商前来交流探讨。
9 月 12 日上午 11:05 - 11:25,江苏集萃苏科思科技有限公司副总经理曾旭博士于 1 号馆二楼 1C 会议室发表 “超精密运动平台在前道半导体设备中的应用” 主题演讲。曾博士指出,我国半导体设备国产化虽有进展,但高端前道设备国产化率仍有待提升,超精密运动平台作为关键核心部件作用重大。同时,曾博士介绍了苏科思高精度气浮运动台,其重复定位精度达 20nm 以下,扫描跟随误差 0.01% 以内,已在国产前道检测客户处实现量产,高加速度高响应机械运动台也已通过客户验证并量产,性能超越国外 领 先 水平。
此次参展 CIOE2024,苏科思科技展示了在半导体设备领域的技术积累与创新成果,加强了与行业伙伴的交流合作。未来,苏科思科技将持续创新,助力我国半导体设备国产化迈向新高度。