9月1日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）进入第二天。随着展会持续深入，来自半导体产业链上下游的技术交流与观点碰撞也不断升温。面对高端半导体装备精密化、自主化的发展趋势，如何突破关键核心部件技术瓶颈，进一步提升产业链供应链的自主可控能力，成为现场关注的焦点之一。

今天下午，苏科思科技带来主题演讲：

《国产量检测精密运动台：不止替代，更敢领跑》

围绕半导体量检测设备对精密运动台在精度、动态性能、可靠性及洁净度等方面的严苛要求，苏科思分享了量检测精密运动台的最新研发进展与产业化实践。

从系统设计，到产品落地

高端半导体装备对精密运动的要求，不只是“高精度”，更需要在复杂应用环境下保持稳定、可靠的性能。

针对这一需求，苏科思坚持系统级正向设计，建立覆盖设计、仿真、制造、测试的全流程技术体系，并通过系统级性能标定与可靠性验证，持续推动产品性能突破。

目前，苏科思已形成覆盖光刻级、量测级、检测级的三大产品线，为不同高端半导体装备提供精密运动解决方案。

赵磊
苏科思科技 | 量检测与光刻事业部总经理

从“国产替代”，到“性能领跑” 

精度是基础，可靠性是保障，量产能力则是技术真正走向产业应用的关键。围绕半导体前道、后道严苛工艺需求，苏科思持续完善洁净度管控、质量一致性及可靠性验证体系。

目前，相关产品已在多家头部设备厂商实现批量导入，从研发验证走向规模化应用，为半导体设备核心零部件的自主可控提供有力支撑。这也意味着，国产精密运动台正在从“能替代”，逐步走向“更高性能”，从跟随者向行业竞争者迈进。

技术交流，仍在继续

从展台展示到主题演讲，CSEAC 2026不仅是产品展示的平台，也是技术交流与产业协同的重要窗口。

9月2日，苏科思将继续与您相约无锡太湖国际博览中心。

期待与更多行业伙伴深入交流，共探精密技术前沿，共话产业创新未来。