发布日期:2025-09-28
9月4日-9月6日,第十三届半导体设备与核心部件及材料展(CSEAC2025)在无锡隆重举行,作为我国半导体设备与核心部件领域的权威展会,众多专家、学者和展商共会,呈现和交流了相关领域的前沿技术和创新产品。苏科思科技由衷感谢业界同仁莅临展位参观交流,共享这场行业盛宴。
本次半导体设备与核心部件行业盛会,苏科思科技携超精密运动平台(气浮台、机械台、旋转台、真空台、垂向台等)、运动控制系统(控制器、控制模块、软件工具) 、光学测量与传感模组等高端半导体装备核心模组与系统解决方案精彩亮相。
同时,苏科思科技的精密控制系统事业部总监颜洪雷博士作为演讲嘉宾,在主题为“半导体设备与核心部件配套新进展论坛”上发表了题为《国产高性能运动控制系统在精密半导体设备中的应用》的专业报告,与业界技术专家和观众交流。 精密运动平台系统作为半导体量检测、先进封装与光刻等核心设备的关键子系统,对提升设备效率、工艺稳定性十分关键。基于中国半导体产业在新业态背景,苏科思科技聚焦国产化发展机遇,以自研高性能控制系统为核心,为精密半导体设备提供成套国产高性能运动控制系统解决方案。
该方案基于先进的模型驱动(MDD)理念,融合低噪声、高响应硬件与智能控制算法,覆盖机械运动、气浮平台及减振与反作用力消除等全系列技术,致力于推动国产半导体设备性能跃升与产业高质量发展。